Kuru vakum pompası sistemi
-Vakum yapılmış alan, hava veya başka bir gaz içermeyen alandır.
-Vakum pompası, düşük gaz basıncı üretmek için kullanılan bir pompadır.
-Yarı iletken endüstride, yan ürünler pompayı aşındırabileceğinden. Yarı iletken endüstrisinde sadece kuru vakum pompaları kullanılmaktadır.
Sistem özellikleri
Vakum sistemi yalnızca bir pompa kullanıyorsa, bazı durumlarda oda basıncı yükselebilir. Gaz miktarı, pompanın sistemden boşaltma yeteneğini aşarsa. Bu büyük yükün üstesinden gelmek için bu ihtiyacı karşılayan vakum pompası kök pompasıdır. İki çeşit kuru pompa vardır bunlar, destek Pompa ve güçlendirici pompadır. Kök pompası genellikle vakum uygulamaları için kullanıldığında yükseltici pompa, düşük pozitif basınçlı uygulamalar için kullanıldığında üfleyici olarak adlandırılır. Kök pompasının düşük sıkıştırma oranı nedeniyle, vakum uygulamalarında daima bir destek pompası ile kullanılır. Güçlendirici pompayı desteklemek için destek pompası kullanılabilir.
Uygulama döngüsü
Uygulanan LS Electric İnverter modeli
S100 3.7kW 200V
Gereklilik ve çözümler
- Hızla değişen, ağır yük altında durmayı önleme → Multi stall prevention
- Ani elektrik kesintisinin üstesinden gelin → Speed search, power-on-run
- Garip düşük hız durumunda uyarı → Low speed alarm
- Yüksek hızda aşırı akımdan, aşırı voltajdan kaçınma → Adjusting field weakening strat frequency.
- Hız sensörü olmadan vektör kontrolü → Sensor-less vector control
Ana fonksiyonlar
1)Multi stall prevention
– Bu işlev, aşırı yüklerin neden olduğu motorun durmasını önler,
2)Speed search, power-on-run
– Hız arama işlemi, motoru otomatik olarak çalışma frekansına hızlandırır güç kurtarmadan sonra.
3)Low speed alarm
– Bu işlev, belirli frekans altında düşük hızda çalışmayı algılar.
4)Sensor-less vector control
– 0,5 Hz’de % 200 başlangıç torku üretilir ve hız sensörü olmadan düşük hız bölgesinde gerekli gücü üretir.
